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LDW350
? ? ??LDW350直写樱桃小视频在线机基于先进的DLP数字樱桃小视频在线技术,采用高精度的精密运动系统、光学系统、微环境控制系统,同时具备实时聚焦、自动居中对位等功能,可满足130nm节点的制版需求。
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MLF系列
? ? MLF系列樱桃小视频在线机结构紧凑,景深大、速度快,适用于功率器件、陶瓷封装等领域,对干膜和樱桃小视频在线胶均有良好的工艺适应性,是一款经济、灵活的量产设备。
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MLC600
MLC600无掩膜直写樱桃小视频在线设备是自主研发生产的一款精巧型樱桃小视频在线产品,广泛应用多种微纳樱桃小视频在线加工领域的研究与生产,樱桃小视频在线最小线宽600nm,套刻对准精度500nm器件 直写樱桃小视频在线功能。适用于小批量、多品种的科研院所使用。
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WLP2000
WLP2000直写樱桃小视频在线机采用最先进的数字樱桃小视频在线技术,无需掩模板,可直接将版图信息转移到涂有樱桃小视频在线胶的衬底上,主要应用于8inch/12inch集成电路先进封装领域,包括Flip Chip、Fan-In WLP、 Fan-Out WLP和2.5D/3D等先进封装形式。该系统采用多光学引擎并行扫描技术,具备自动套刻、背部对准、智能纠偏、WEE/WEP功能,在RDL、Bumping和TSV等制程工艺中优势明显。
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MAS8
适用于IC封装载板量产的 数位成像系统,可使镭射 光束在不同种类的感光膜 上曝光。采用DMD技术, 可实现8μm的高度解析。
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MAS6
适用于IC封装载板量产的 数位成像系统,可使镭射 光束在不同种类的感光膜 上曝光。采用DMD技术, 可实现6μm的高度解析。
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