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MLC600
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产品描述
参数
1.产品描述
MLC600无掩膜直写樱桃小视频在线设备是自主研发生产的一款精巧型樱桃小视频在线产品，广泛应用多种微纳樱桃小视频在线加工领域的研究与生产，樱桃小视频在线最小线宽600nm，套刻对准精度500nm器件 直写樱桃小视频在线功能。适用于小批量、多品种的科研院所使用。
2.产品特点
• 器件直写樱桃小视频在线功能
• 3D结构曝光功能
• 掩膜版曝光功能
• 背面对准功能
• 可视化定点对准曝光功能
• 快速、精细两种曝光模式
• 多种数据输入格式（GDSⅡ/DXF/CIF/Gerber/BMP/TIFF）
• 基于Windows系统，用户界面方便操作
3.技术规格
| 设备型号 | MLC600 | ||
| Ⅰ | Ⅱ | ||
| 支持最大基板尺寸 | 8（可拓展） | 8（可拓展） | |
| 最大曝光面积 | 200*200mm2 | 200*200mm2 | |
| 最小解析 | 0.6μm | 2μm | |
| 数据网格精度 | 70nm | 140nm | |
| 线宽均匀性[3σ,nm] | 150 | 300 | |
| 套刻对准精度[3σ,nm] | 500 | 500 | |
| 产能 | 250mm2/min | 1000mm2/min | |
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股票代码：688630
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